电子工业专用设备杂志社
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《电子工业专用设备》2020年05期

 
目录
先进封装技术与设备
集成电路铜布线CMP后BTA残留红外检测分析的研究刘宜霖;檀柏梅;高宝红;岳爽;刘雅文;1-5+28
大尺寸晶圆磨削减薄设备气浮主轴承载特性研究王海明;叶乐志;李世玉;6-12+63
无氧铜电真空器件表面洁净工艺研究王殿;魏宇祥;13-16行业快讯
盛美推出应用于大功率半导体器件制造的新款薄片清洗设备16
零的突破 国产片式多层陶瓷电容器叠压机获客户肯定33
ASML三季度销售60台光刻机45
下一代芯片在堆叠、微缩和检验方面的挑战Rick Gottscho;77-78半导体制造工艺与设备
背面减薄工艺对InP芯片成品率的影响张圆圆;莫才平;黄晓峰;赵文伯;樊鹏;刘勋;17-22
一种高精度化学腐蚀减薄设备与减薄工艺王勇威;夏楠君;亢喆;马雪婷;吴娖;郭立刚;23-28
APCVD制备SiOx薄膜工艺研究云娜;康洪亮;高丹;佟丽英;29-33
EtherCAT分布式运动控制系统在湿化学设备中的应用王洪建;刘凯文;李永红;何川;张玮琪;34-36+41测试测量技术与设备
激光干涉仪在XY工作台测量中的应用金黎雷;37-41
温度测量法在水压层压机维修中的应用张文朋;吴海;赵英伟;金黎雷;42-45
K-Means聚类算法及其性能优化研究刘骏;喻青;46-49电子专用设备研究
浅论非SiC类的非金属材料加热器陈龙豪;钱虞清;金磊;朱从健;50-55
透明防静电树脂板在电子工程中的应用研究张景春;司家林;56-63
基于大功率MOS管的D类功放设计李文;64-69
基于一种最大功率点跟踪算法的应用研究李志斌;刘帅;陈勇;杨彪;70-76行业快讯_业界要闻
KLA针对先进封装发布增强系统组合 新设备采用AI解决方案以提高良率和质量并推动半导体封装创新79-80
中微公司发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备Prismo HiT3TM80
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